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功率模塊的可靠性，是指器件在一定時間內(nèi)、一定條件下無故障的運行的能力，是功率模塊最重要的品質(zhì)特性之一。 要滿足現(xiàn)代技術(shù)和生產(chǎn)的需要，獲得更高的經(jīng)濟效益，必須使用高可靠性的產(chǎn)品，這樣設計的產(chǎn)品才具有更高的市場競爭力。 那么如何才能實現(xiàn)高的可靠性呢？在設計階段可以考慮下述因素：

1、封裝材料的選取，比如芯片技術(shù)、焊接材料、外殼封裝材料、芯片鈍化層的材料； 

2、封裝連接工藝的采用，比如焊接工藝、燒結(jié)工藝、鍵合線的幾何形狀、彈簧連接；

3、芯片的布局，比如實現(xiàn)更好的均流，降低電磁干擾的影響。 

在設計階段對產(chǎn)品進行可靠性測試顯得尤為重要。

常見的可靠性測試項目參考如下： 

HTRB，高溫反偏測試 

HTGB，高溫門極反偏測試

H3TRB，高溫高濕反偏測試

在整個測試過程中，必須對測試前、測試中、測試后的器件參數(shù)進行測量和對比。對IGBT而言，當測試參數(shù)出現(xiàn)以下變化時，就可認為出現(xiàn)失效：

*號值參考規(guī)格書。

HTRB 高溫反偏測試

高溫反偏測試主要用于驗證長期穩(wěn)定情況下芯片的漏電流，考驗對象是IGBT邊緣結(jié)構(gòu)和鈍化層的弱點或退化效應。

測試標準：IEC 60747-9 

測試條件為：1000個小時，95% VCE(max)，125℃<Tc< 145 ℃ 

測試原理圖如下：

在測試中，需持續(xù)監(jiān)測門極的漏電流和門極開通電壓，若這兩項參數(shù)超出指定規(guī)格，則模塊將不能通過此項測試。 

HTGB 高溫門極反偏測試 

高溫門極反偏測試主要用于驗證柵極漏電流的穩(wěn)定性，考驗對象是IGBT柵極氧化層。 

測試標準：IEC 60747-9 

測試條件為：1000個小時，VGE=±20V（+/-方向都需測試，各一半測試樣品）,Tj=Tj(max) 

測試原理圖如下：

在測試中，需持續(xù)監(jiān)測門極的漏電流和門極開通電壓，若這兩項參數(shù)超出指定規(guī)格，則模塊將不能通過此項測試。 

H3TRB 高溫高濕反偏測試 

高溫高濕反偏測試，也就是雙85測試，主要用于測試濕度對功率器件長期特性的影響。 

測試標準：IEC 60068-2-67 

測試條件為：1000個小時，環(huán)境溫度85℃，相對濕度85%，VCE=80V 

測試原理圖如下： 

在這一項測試中，施加的電場主要用于半導體表面離子積累和極性分子的驅(qū)動力，但是為了避免測試過程中漏電流產(chǎn)生的溫升降低相對濕度，所以對于IGBT器件，一般選用80V做為測試電壓，這樣能將芯片的自加熱溫度控制在2℃以內(nèi)。 最近的應用經(jīng)驗表明，許多現(xiàn)場失效與濕度有著不可分割的關(guān)系，因此引入了高壓高溫高濕反偏測試的討論，即HV-H3TRB測試。隨著IGBT芯片的技術(shù)更新，漏電流變的更低，對于阻斷電壓為1200V或更高的器件，測試電壓可調(diào)整為阻斷電壓的80%。這樣，可保證功率模塊在高濕度應用情況下具有更高的可靠性。 

金凱博碳化硅SiC車規(guī)級動態(tài)可靠性測試系統(tǒng)具有80個測試通道、每個通道獨立控制；實時保存測試結(jié)果，生成測試報告；具有防燙、過流、過壓保護；支持擴展外接標準儀表等眾多優(yōu)勢性能。并具有高溫高壓高頻高精度脈沖源：dv/dt>50v/ns、頻率50KHz；高精度測試：電流分辨率10pA，電壓分辨率100nV；多參數(shù)測量：Vsd電壓、Vgsth電壓、Rds電阻、lgss漏電流、ldss漏電流、溫度，功能完備并有可擴展性。